レーザー顕微鏡用ステージ
レーザー顕微鏡用500mmステージ
レーザー顕微鏡を搭載したパッシブ除振台型検査装置です。
観察範囲はXY□500ｍｍ、Z100ｍｍで各種特殊対応やオプション対応が可能です。
レーザー顕微鏡用300mmステージ
レーザー顕微鏡を搭載した卓上型検査装置です。
観察範囲はXY□300ｍｍ、Z100ｍｍで各種特殊対応やオプション対応が可能です。
全自動検査装置
8インチウエハ用の自動検査装置です。
搬送ロボット及びアライナーを搭載し、自動検査を行います。
架台付きカバー仕様
レーザー顕微鏡用300mmステージをアルミフレーム架台に乗せて上部だけフルカバーした仕様です。
マイクロスコープ検査装置
マイクロスコープ用300mmステージ
マイクロスコープを搭載した卓上型検査装置です。観察範囲はXY□300ｍｍ、Z100ｍｍで各種特殊対応やオプション対応が可能です。
対応カメラ
・スタンダードカメラ
・ハイレゾリューションヘッド
・元素分析ヘッド
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 ※オプションでウェハホルダや真空吸着やポラスチャック静電吸着プレートなど取付可能です。 |
ロールワーク観察用ハイレゾリューション検査装置
ハイレゾリューションヘッドと当社独自のロール観察ステージを組み合わせる事により、ロール状のワーク測定を可能としたシステムです。
また、ケーブルの届く範囲で有れば、任意の場所にて測定が可能です。
Z軸は電動で昇降し、X,Y軸はマイクロメーターによる微調整が可能です。
3D形状測定機
3D形状測定機用300mmステージ
レーザー顕微鏡を搭載した卓上型検査装置です。
観察範囲はXY□300ｍｍ、Z100ｍｍで各種特殊対応やオプション対応が可能です。
 3D形状測定機用300mmステージの仕様でZ軸ストローク延長 しています。 |
 3D形状測定機用を逆さに設置してガラス台上のサンプルを観察 |
高精度検査装置
石定盤＆石製精密ステージ搭載精密検査装置
ウエハの表面形状検査を2D、及び3Dで行う装置です。
メインのXYステージは石製で超高精度仕様です。
また、装置全体も石製の為、温度変化が非常に少ない構造となっております。
センサー検査装置
外径検査治具
インライン式投影画像測定センサーを治具に固定し、ワーク台のガラス部分に外径を測定するワークを載せ、センサーから出射されるグリーンLED光によりワークのエッジラインを検出し、寸法や角度等を高精度で検出します。
シート状ワーク表面粗さ測定装置
ワーク台にシート状のワークを載せ、レーザー変位計を左から右に自動走査することで、ワークの表面粗さを測定する装置です。
三角測量を応用した測定を行い、ワーク位置が変動するとセンサーの受光位置が移動し、検出する事で、変位量を高精度で測定します。
線状ワーク外径検査装置
線状ワークの左端を固定、右端をセンサー測定部に通し、センサーを左から右に自動走査することで、ワークの外径を測定する装置です。
センサーはインライン式投影画像型のセンサーを用い、センサーより出射されるグリーンLED光によりワークの直径を高精度に測定します。
表面形状測定装置
ワークをワーク台に載せるとセンサーが左から右に自動で動きワークの表面形状を測定する装置です。
シリンドリカルレンズにより帯状に広げられたレーザー光がワーク表面で拡散反射し、その反射光をセンサーに結像させ、位置や形状の変化を検出する事で変位・形状を高精度で測定します。
小型部品ワーク表面粗さ測定装置
ステージ中央部に小型ワークを載せる事で、センサー測定部へとワーク測定箇所が自動で移動し、ワークの表面粗さを測定する装置です。
センサーによるマルチカラー共焦点方式変位計での測定により、測定レンジのどの位置でも十分な光量を確保する事ができ、広範囲な波長帯域で安定した解析が行える事で、変位量を高精度で測定します。
棒状ワーク表面形状測定装置
ステージ上の回転部にワークを固定し、ワークがセンサー位置まで移動して回転する事で、ワークの表面形状を測定する装置です。
センサーによる白色干渉測定により、得られた複数の枚のコントラスト画像から画像毎に干渉強度が最大となる位置を読み取り、ワークまでの距離を測定する事で、変位・形状を高精度で測定します。
蛍光顕微鏡用プレート
4WELLプレート アダプタ |
8WELLプレート アダプタ |
72WELLプレート |
カバーガラスチャンバー3枚仕様 |
φ120円盤検査治具 |
フラットアダプタ |
スライドガラスアダプタ 76×52 (1枚仕様） |
スライドガラスアダプタ 76×52×2 (2枚仕様) |
偏光フィルタアタッチメント |
(フィルターキューブ付き) |
偏光フィルター挿入方式（２号機） |
偏光フィルターは着脱式でφ50の様々なフィルタを装着できます。 |
スライドガラス回転治具 スライドガラス寸法 76 x 26mm 2枚搭載可能 回転部分が脱着可能で、スライドガラスの交換が容易にできます。 |
超音波探傷装置
空中超音波自動探傷装置
左側のワーク台にサンプルを設置して中央部のロボットで自動探傷する装置です。また、右側の水槽にワークを設置して中央のロボットで水中探傷も行うことが可能です。
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全自動検査装置製作実績
半導体マスク自動検査装置
SMIFポッドに収納されたマスクを検査ステーションに自動搬送し、4種の検査機で検査する装置です。
装置全体をサーマルチャンバーで囲い、ワークの上面をクラス1の環境に保ち、温湿度をそれぞれ21±0.1°45±1％に調整することで装置全体を21±0.5°、45±5％に保っています。搬送機構はすべてステッピングモーターを使用し、石定盤製のアクティブ除振台を使用し検査位置を低振動に制御しています。XYステージの位置決めには分解能10nｍのレーザー干渉計を採用し、X線イオナイザーを使用して検査位置の大気を直接イオン化して除電しています。
電圧検査機
お客様の既存設備に電圧検査機を増設致しました。
ワークの電圧を検査し、NG品を払出し、OK品は右側のコンベアに乗せて350ｍｍ上昇して後工程に受け渡します。
ガラス基板自動検査装置
ラインセンサーカメラを3台並べてガラス基板の検査を行う装置です。
2種類のコンベアで構成され、搬入側は安全を考慮したマグネット駆動のコンベアで、検査側は歯車での駆動となります。
搬送時の高さ変異は0.1ｍｍ以下で搬送可能です。
特殊位置決めステージ製作実績
3軸自動ステージ
500×650ｍｍの基板検査用に製作した、3軸自動ステージです。
Ｚ軸はクサビ構造でストロークが20ｍｍあります。
小型XY軸自動ステージ
□30の小型ステージです。全体で83×80×74とコンパクトに設計されており、ボールねじ駆動です。
ガイドはクロスローラーガイドを使用しているため高精度な位置決めが出来ます。
中空タイプの顕微鏡ステージ
顕微鏡タイプのステージは製作実績が多く、ステージサイズ□120～□400ｍｍまで幅広く製作しております。
レーザー直描装置用高精度ステージユニット
真直度5秒以下で製作した特注精度のステージを搭載しております。
ワーク固定治具
ワーク固定治具 |
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ワーク固定治具 |
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ウェハホルダ |
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静電チャック |